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TESCAN VEGA 
VEGA是TESCAN第四代扫描电子显微镜中的一员。其技术规格：（1）电子枪：钨灯丝；（2）电子光学设计：中间镜(Intermediate LensTM)、大视野光路(Wide Field OpticsTM)，实时电子束追踪技术(In-Flight Beam TracingTM)；（3）高真空模式下的分辨率3nm@30 keV，8nm @3 keV；低真空模式下的分辨率3.5 nm@30keV(BSE)，*3.4nm@30 keV(GSD)*，*选配（4）最大视野：>50 mm@最大工作距离。
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产品简介

VEGA是TESCAN第四代扫描电子显微镜中的一员，配置钨灯丝电子源，可以通过全新的EssenceTM电镜操控软件系统，将扫描形貌图像与元素实时分析集成于同一个扫描窗口中，这种组合极大的简化了样品表面形貌的采集及所含元素的数据分析工作。这使得全新的第四代VEGA SEM能为质量控制、故障分析和研究实验室中常规材料等检测提供更高效的分析的解决方案。


主要优点

*TESCAN EssenceTM EDS功能实现快速、简便、高效的分析操作

*最小放大倍率可达2倍，无需导航相机即可轻松实现样品导航

*TESCAN独有的实时电子束追踪技术(In-Flight Beam TracingTM)保障了最佳的成像和分析条件

*模块化的EssenceTM操作软件，所有经验级别的用户均可轻松使用

*EssenceTM3D防碰撞模拟功能保证了样品台和样品运动时的安全

*SingleVacTM模式可快速观测导电性差或电子束敏感样品

*简易、快捷的操作

应用领域

*微米尺度地质样品的形态和元素表征

*半导体器件在微米尺度上的质量分析

型号及技术规格

电子枪

钨灯丝

电子光学设计

中间镜(Intermediate LensTM)、大视野光路(Wide Field OpticsTM)，实时电子束追踪技术(In-Flight Beam TracingTM)   

分辨率

高真空模式

3 nm@30keV

8nm@3keV

低真空模式

3.5nm@30keV(BSE)*

3.4nm@30keV(GSD)*

*选配

最大视野

>50 mm@最大工作距离

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