TESCAN MIRA是最新推出的第四代高性能扫描电子显微镜，配置有高亮度肖特基场发射电子枪，在TESCAN的Essence™操作软件的同一个窗口中实现了SEM成像和实时元素分析。这种结合大大简化了从样品中获取形貌和元素数据的过程，从而使得MIRA成为质量控制、失效分析和实验室常规材料检测的有效分析解决方案。

*完全集成的能谱分析(Essence™EDS)-在SEM实时扫描窗口中完成扫描电镜成像和元素成分分析

*TESCAN独特的无光阑光路设计可快速获得最佳的成像和分析条件

*最低放大倍数可至2倍，轻松且精确地对样品进行导航

*直观且模块化Essence™软件，任何经验水平的用户，均可轻松操作

*Essence™3D防碰撞模型，当样品台和样品移动时,可保证安装在样品室内附件的安全

*标配SingleVac模式，可直接观察不导电样品或电子束敏感样品

*可选配的镜筒内SE和BSE探测器结合电子束减速技术极大的提升了低电压下的成像性能

*提升操作简易性，并减少数据采集时间

*样品室内BSE探测器图像具有优异的立体感，而镜筒内BSE探测器具有低能量、高敏感度、高分辨率的优点，两个探测器同时工作，可采集不同出射角度的BSE信号，获得更多的样品衬度信息。

*使用样品室SE探测器，镜筒内的In-BeamSE探测器和In-Beam SE(BDM) 探测器对样品进行完整的形貌表征。

*集成的Essence™EDS能谱分析功能，利用在Essence™电镜专用控制软件的单个实时窗口中进行SEM成像和元素成分分析的优势可以更快地获取分析数据。

*适用于金属样品的亚微米级高分辨检测

*对亚微米级颗粒、团聚物和其它材料进行高分辨率成像

*表征亚微米尺度的地质样品的形貌和成分

*亚微米级半导体器件的质量分析