TESCAN AMBER配置了BrightBeam™型无漏磁电子镜筒，具有超高的分辨成像和分析性能，能够表征包括金属材料、磁性材料、不导电材料和电子東敏感等各类材料。
TESCAN AMBER上搭载的Orage™型离子镜筒,能够满足越来越苛刻的FIB样品制备的需求，凭借其超高的分辨率和大束流，使之能够轻松完成高质量的样品制备。选配的自动化样品制备软件模块能够实现批量的样品处理和多个位置的采集，实现自动进行预定义自动操作，如制备微纳力学测试样品阵列或者是在多位置制备TEM薄片。
无漏磁超高分辨SEM和高精度镓离子FIB的完美组合，轻松完成精细的样品制备、表面分析和三维重构，实现纳米材料的全面表征。
*新一代Orager型离子镜筒，适用于各类具有挑战性的微纳米加工任务
*新颖的 SmartMill 模式提升了工作效率
*无漏磁低电压超高分辨成像
*镜筒内SE和BSE探测器
*自动优化电子束，实现高通量、多模态的FIB-SEM断层扫描
*超大的视野，便捷的导航
*轻松完成精细的样品制备、表面分析和三维重构，实现纳米材料的全面表征
*具有超高的分辨成像和分析性能，能够表征包括金属材料、磁性材料、不导电材料和电子束敏感等各类材料
*大截面的研磨和抛光
*多尺度、多模态 FIB-SEM 断层扫描
电子光学系统
电子枪 | 高亮度肖特基场发射电子枪 | ||
镜筒 | BrightBeam™ 镜筒 | ||
分辨率 | 标配 0.9nm@15kV 1.5nm@lkV | 减速模式 1.3nm@1kV | STEM 0.8nm@30kV |
视野范围 | 50mm@WD=70 mm | ||
电子束能量 | 50eV~30keV | ||
束流范围 | ~400nA | ||
低真空(选配) | ~500Pa | ||
离子光学镜筒
离子筒镜 | Orage™ |
离子枪 | 液态镓离子源 |
分辨率 | 2.5nm@30kV |
离子束能量 | 0.5keV-30keV |
离子探针电流 | <1PA-100nA |
SEM-FIB重合点 | WDSEM=6mm |
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刘经理