高功率纳秒绿光激光器和配套冷水机

波长：532nm

使用双腔激光器，最大谐振腔平均功率：≥200W，最大单谐振腔平均功率：≥100W，激光功率为在激光器出光口和导入传输光纤之前的532nm波长条件下的功率。

最大双腔单脉冲能量：≥20mJ，最大单谐振腔单脉冲能量：≥10mJ（单脉冲能量为激光器出光口在导入传输光纤之前的和在频率≥10kHz条件下的能量。

切断感应检测，激光加工过程和完成的实时监测控制。

脉冲宽度：160ns～360ns

重复频率：6Hz～30kHz

激光微射流耦合加工头及其光学系统

具备自动对焦功能，可实现激光焦点X、Y和Z全方向的电动调节

配备工业CCD模块，用于工件的观察和辅助定位。

配置带气体流量控制器的气体保护装置，支持使用不同工作介质气体。

射流反向防溅射保护装置

提供孔径分别为20μm、30μm、40μm、50μm、60μm、80μm、和100μm规格的喷嘴各5个。

具备自动对焦功能，可实现激光焦点X、Y和Z全方向的电动调节

配备工业CCD模块，用于工件的观察和辅助定位。

超纯水处理系统及液压泵系统

超纯水处理后条件包括颗粒物过滤直径：≤0.2µm，净化后水电阻率：≥10MΩ.cm，纯水产量＞7L/h。

液压泵提供超纯水泵系统的供水压力：5-50MPa，压力波动范围不大于±3bar

五轴加工系统主机及控制系统

主流5轴5联动CNC数控系统。

专用独立的轴向冷却系统

X/Y/Z轴行程：不小于500mm/380mm/380mm，C: ±360°，A:（+135° 至 -20°）

定位精度：1) X、Y、Z轴：优于±0.05mm

          2) C、A轴：优于10"

重复定位精度：1) X、Y、Z轴：优于±0.02mm

              2) C、A轴：优于5"

最大速度：1) X、Y、Z轴：不小于500mm/sec

2)   C轴：不大于500rpm

3)   A轴：不大于200rpm