Azure NX深紫外激光器为紧凑型、低噪声、输出的波长为266nm激光器，采用易于集成到半导体行业的工业环境的设计。
Azure NX 具有单频和绝对波长稳定功能，它通过 LAN 或 web GUI 进行全自动操作。最高1瓦深紫外输出、窄线宽特性搭配 7×24 小时稳定可靠的性能组合，十分适合严苛应用场景。
产品简介
Azure NX深紫外激光器为紧凑型、低噪声、输出的波长为266nm激光器，采用易于集成到半导体行业的工业环境的设计。
Azure NX 具有单频和绝对波长稳定功能，它通过 LAN 或 web GUI 进行全自动操作。最高1瓦深紫外输出、窄线宽特性搭配 7×24 小时稳定可靠的性能组合，十分适合严苛应用场景。
1、紫外高功率：266nm输出波长，输出功率高达 1W
2、超窄线宽：＜500 kHz
3、紧凑型PermAlign设计与气密密封
4、专利单频与绝对稳频技术
5、完全免手动操作
Azure NX工业级高性能 266 nm激光器用于半导体检测、拉曼光谱分析、光纤布拉格光栅 (FBG) 写入、平板印刷等
型号：Azure NX 266-1000 | |
参数名称 | 数值 |
功率(W) | 1 |
波长(nm) | 266 |
线宽(kHz) | <500 |
光束腰直径(mm) | 2±0.3 |
光束腰位置相对于光束出口(m) | Front bezel ±25% of Rayleigh Range |
光束发散角(mrad) (full angle) | <0.3 |
光束椭圆度 | 0.9至1.1 |
像散 | ±25% of Rayleigh Range |
指向稳定性(µrad/°C) | <±5 |
指向精度(µrad) (activly stabilized) | <20 |
横向模式 | TEM00 |
M2 | <1.3 |
极化方式 | 线性，垂直土3°，200:1 |
输出功率稳定性(8小时)(%) | <1 |
均方根噪声(%) (10 Hz to 500 MHz) | <0.5 |
PTP噪声(%) (100 s, 1 MHz to 100 MHz) | <3 |
使用寿命(hours) | 20000 |
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刘经理
